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나노공학부 백경호 교수, 나노구조 세라믹 코팅재 개발

  • 작성자관리자
  • 작성일2006-10-11 12:10:00
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 공과대학 나노공학부 백경호 교수 연구팀이 염소계 부식성 가스에 잘 견디고 내구성이 좋아 반도체 드라이 에칭(Dry Etching) 장비에 적용할 수 있는 나노구조 세라믹 코팅재인 ‘나노엠(NanoM)"을 공동개발했다.

 우리 대학 백경호 교수 연구팀과 한국과학기술연구원(KIST) 석현광 박사팀은 윈엔윈테크놀로지와 함께 플라즈마 온도(1만 5000℃)를 이용해 액체 상태의 세라믹 소재를 순식간에 냉각해 흡착(코팅)함으로써 불규칙한 원자배열(비결정질)을 가진 신소재 제조기술을 확립했다고 밝혔다.

 나노엠은 불규칙한 원자 배열(나노구조)에 힘입어 그 동안 반도체 드라이 에칭 장비용 소재로 활용해 온 알루미나 및 이트리아 계열 세라믹 코팅재보다 강도․내식성․내마모성이 2배 이상 좋은 것으로 알려지고 있다.

 반도체 산업용 소재뿐만 아니라 연료전지 부품, 생체재료, 발전설비용 소재 등으로 폭넓게 쓸 수 있을 것으로 기대되고 있다. 또, 올 하반기부터 양산해 반도체 장비 코팅소재를 국산화하면 연 300억대에 불과한 관련 시장이 1000억원대로 늘어날 것으로 예상된다.

 

<2006. 6. 29>




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